熱式氣體質量流量計主要是對氣體的測量，但是其在應用過程中會受到一些因素使得，測量數據不穩定，也就是精度不高，下面我們介紹下。

首先，氣體的熱性質會跟著壓力和溫度的改動而改動，由于氣體溫度發生變化，其密度和氣體成分也發生變化，例如如空氣受溫度的影響大一些而CO2則受壓力的影響更大一些。 由于其溫度和壓力以及密度發生變化。

熱式氣體質量流量計測量的是氣體質量流量計，根據質量換算公式m=dV；m氣體的質量， d氣體的密度，V氣體的體積，我們可以看出密度發生變化，質量也再發生變化。

其次，氣體里面含有雜質，或者水氣。

當氣體里面雜質過大師侯，雜質將使得熱式氣體質量流量計探頭將粘在探頭上面，使得傳感器靈敏度降低。要是有水氣的話，會形成冷凝，傳感器上有冷凝，感器表面被冷凝水結冰覆蓋的話，對于外部環境真實的溫濕度感應就隔斷了。由于傳感器本身的探測不到溫度變化數據，而使得測量數據發生不穩定。